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真空用X軸小型自動平臺－5相步進電機

可用于真空腔內的小型自動平臺。體積小，不浪費真空腔的空間。向導?在電機部，和極限位置傳感器部處，附有1m長的鍍有聚四

西格瑪精密平臺（壓電陶瓷）

采用了獨特的數字位移傳感器，實現了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達1nm的壓電陶瓷平臺。?采用了獨特的數字位移傳

真空用自動轉動平臺

這是一款真空用的自動轉動平臺。φ60mm的小型平臺，適用于實驗或檢查裝置。φ120mm的真空用平臺上配備了限位傳感器

真空用自動平臺－5相步進電機

向導?在電機部，和極限位置傳感器部處，附有1m長的散線。通用指標■電機/傳感器技術指標電機　類型5相步進電

中空型XY壓電陶瓷平臺

外形圖■SFS-120XY(WA)型號型號PDF文件dxfSTPIGSSATSFS-120XY(WA)型號

單軸壓電掃描臺

單軸壓電掃描臺經典納米定位系統超高精度應用于高動態性能場合采用PICMA壓電觸動，高可靠性采用電容傳感器，納米測量范

小型直線驅動器

采用了小型高推力DC電機的性價比好的直線驅動器和手動平臺上使用的微分頭具有互換性，方便手動平臺的自動化。?客戶自己就

小型步進電機型驅動裝置

小型化高性能的步進電機與精密研磨的螺紋組合構成經濟的執行機構。通過替換本公司的平臺或反射鏡架微分頭可以實現自動化控制

小型直線驅動器

中空型XY壓電陶瓷平臺

西格瑪精密平臺（壓電陶瓷）

單軸壓電掃描臺

XY軸TSD平臺(TSD）

在淬火的鋼質平臺主體（下板）與移動臺（上板）處，直接加工導軌。這是一款耐久性能優良的直動平臺。向導?可提供真空用不銹

XY軸鋁合金十字交叉滾柱導軌平臺

向導?型號末尾為FP的產品，采用的是精密調整螺桿，請注意不是一般的微分頭。精密調整螺桿的螺距為0.25mm，在操作時

XY軸預置平臺 > 臺面尺寸　□15/□25/□40/□60/□65mm

采用燕尾槽導軌和螺紋驅動的調整方式，最適合嵌入設備中使用的平臺。?最適合用于使用頻率較低，需要做精細調整的地方。?最

X軸大行程粗調平臺　臺面尺寸□160mm

向導?使用LST系列進行XY軸向組合時，請向營業部門咨詢。通用指標臺面尺寸160×160mm導軌形式線性軸

真空用自動轉動平臺

真空用自動平臺－5相步進電機

真空用X軸小型自動平臺－5相步進電機

自動擺動平臺－5相步進電機（α軸）＞平臺尺寸　　□60mm

通用指標■電機/傳感器技術指標電機　類型5相步進電機　0.75A/相（ORIENTAL MOTOR（株））

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