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中科院光電所“邁微信”足協杯圓滿落幕
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真空用X軸小型自動平臺－5相步進電機
可用于真空腔內的小型自動平臺。體積小，不浪費真空腔的空間。向導?在電機部，和極限位置傳感器部處，附有1m長的鍍有聚四
西格瑪精密平臺（壓電陶瓷）
采用了獨特的數字位移傳感器，實現了高精度·高剛性·高速度和理論分辨率達1nm的壓電陶瓷平臺。?采用了獨特的數字位移傳
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